سيمي ڪنڊڪٽر ويفرز، پريزيشن آپٽيڪل لينس ۽ ڪوٽيڊ حصن تي مٿاڇري جي خرابي، قدم جي اوچائي ۽ پتلي فلم جي ٿلهي جو معائنو سڌو سنئون پيداوار جي پيداوار جو تعين ڪري ٿو. روايتي ڪانٽيڪٽ پروب اسڪيننگ آساني سان نازڪ نمونن کي ڇڪي ٿي، جڏهن ته عام آپٽيڪل ماپڻ وارو سامان نانو-سطح جي درستگي فراهم نٿو ڪري سگهي. هڪ ئي وقت غير تباهي واري جاچ، الٽرا هاءِ نانو درستگي ۽ هاءِ ٿرو پُٽ ماس پروڊڪشن انسپيڪشن ڪيئن حاصل ڪجي؟
ويولينٿ او اي جي نئين صنعتي سفيد روشني انٽرفيروميٽر ۾ ٻٽي انٽرفيروميٽري ماپ جا طريقا شامل آهن. غير رابطي جي سڃاڻپ سان، اهو ليبارٽري آر اينڊ ڊي کان آن لائن پيداوار QC تائين مڪمل ورڪ فلو کي ڍڪيندو آهي.
سڀني مٿاڇري جي ٽوپوگرافي لاءِ ڊبل ڪور انٽرفيروميٽري موڊس
سنگل موڊ ماپنگ ڊوائيسز جي برعڪس، هي سسٽم VSI (ورٽيڪل اسڪيننگ انٽرفيروميٽري) ۽ PSI (فيز-شفٽنگ انٽرفيروميٽري) الگورتھم کي ضم ڪري ٿو، هڪ مشين سان ٻن بنيادي ماپ جي گهرجن کي پورو ڪري ٿو.
| مقابلي واري شيءِ | وي ايس آءِ / سي ايس آءِ | پي ايس آءِ |
|---|---|---|
| مکيه قابل اطلاق سطحون | ڪچيون مٿاڇريون، ڏاڪڻيون، بي ترتيب ۽ پيچيده جاگرافيائي نقشا | انتهائي هموار، مسلسل ۽ آئيني واريون مٿاڇريون |
| عمودي اوچائي ماپ جي حد | وسيع رينج؛ گہرے نالن ۽ اونچين قدمن کي ماپڻ جي قابل | تنگ حد؛ الڳ ٿيل وڏن قدمن لاءِ مناسب ناهي. |
| عمودي ريزوليوشن | نانو ميٽر جي سطح؛ بهتر ڪيل الگورتھم سان حاصل ٿيندڙ ذيلي نانو ميٽر | سڀ کان وڌيڪ ريزوليوشن؛ سب نانو ميٽر تائين، سب اينگسٽروم ليول تائين ورجائڻ جي صلاحيت |
| مٿاڇري جي سختي جي رواداري | هاءِ | گهٽ |
| مرحلي جي ابهام | تقريبن ڪو به نه؛ مطلق اوچائي قدر پيداوار موجود آهي | 2π مرحلي جي ريپنگ جي غلطي جي تابع |
| ماپڻ جي رفتار | محوري اسڪيننگ جي ضرورت آهي، نسبتاً سست | عام طور تي تيز |
| وائبريشن مزاحمت | اسڪيننگ دوران وائبريشن جو شڪار | ملٽي فريم فيز شفٽنگ، وائبريشن لاءِ وڌيڪ حساس |
| عام ايپليڪيشنون | سختي، قدم جي اوچائي، مائڪرو اسٽرڪچر، مشيني سطحون | الٽرا هموار مٿاڇري جي خرابي، مٿاڇري جي شڪل ۽ همواريءَ جي جاچ |
پي ايس آءِ (فيز شفٽنگ انٽرفيروميٽري): نانو-اسڪيل ننڍي اوچائي جي خاصيتن ۽ الٽرا پتلي فلمن ۾ ماهر، انتهائي خوردبيني ريزوليوشن فراهم ڪندي.
جهاز جو آئينو
وکر آئينو (محدب آئينو)
فوٽو ليٿوگرافڪ نموني
VSI عمودي اسڪيننگ انٽرفيروميٽري: وڏي اوچائي جي تبديلين ۽ ڊگهن قدمن سان ڪم جي ٽڪرن لاءِ بهتر ڪيل؛ مڪمل ماپ جي حد بغير سيگمينٽ ٿيل اسڪيننگ جي دستياب آهي.
ترقي يافته پيڪيج ٿيل ويفرز تي سرڪيولر مائڪرو بمپ ايري
ترقي يافته پيڪيج ٿيل ويفرز تي بيضوي مائڪرو بمپ صف
مائڪرو لينس صف
450-700 nm مختصر هم آهنگي واري اڇي روشني جي ذريعن سان ملائي، اهو ڪيترن ئي عڪاسي مان نڪرندڙ روشني کي مؤثر طريقي سان دٻائي سگهي ٿو ۽ مضبوط مداخلت مخالف ڪارڪردگي فراهم ڪري ٿو. گھڻ-پرت ڪوٽنگن سان ليس، گهٽ عڪاسي سان هي آپٽيڪل جزو مستحڪم ۽ الڳ مداخلت سگنل آئوٽ ڪري سگهي ٿو، مستند ۽ قابل اعتماد ماپ جا نتيجا پيدا ڪري ٿو.
2. صنعت جي اڳواڻي ڪندڙ نانو گريڊ وضاحتون، ٽريڪ لائق ۽ مستحڪم ڊگهي مدت جو ڊيٽا
-هي نظام 550 nm تي مرڪزي طول موج سان هڪ LED سفيد روشني جو ذريعو اختيار ڪري ٿو، جيڪو عالمي پريميئم معيارن سان ملندڙ اعليٰ درجي جي بنيادي ڪارڪردگي جي پيرا ميٽرز سان ليس آهي.
-عمودي ريزوليوشن: ＜1 nm، ٻيهر ماپ جي غلطي: ＜10 nm، صحيح نانو ميٽر جي درستگي
- وڌ ۾ وڌ عمودي ماپ جي حد: 500 μm، اعليٰ-گهٽ مائڪرو اسٽرڪچر لاءِ بار بار ري پوزيشننگ جي ضرورت ناهي.
- اسڪيننگ جي رفتار: 100 μm/s، سنگل مڪمل اسڪين 10 سيڪنڊن اندر مڪمل ٿيو، درستگي ۽ انسپيڪشن ٿرو پُٽ کي متوازن ڪندي.
-NIST ٽريس ايبل معيارن جي مطابق، بلٽ ان آٽو ڪيليبريشن الگورٿم مسلسل ٽريس ايبل بيچ ڊيٽا کي يقيني بڻائي ٿو، سيمي ڪنڊڪٽر ۽ آپٽيڪل انڊسٽريز لاءِ سخت QC معيارن کي پورو ڪري ٿو.
| شيءِ | پيرا ميٽر |
| ماپڻ جي گنجائش | عڪاسي ڪندڙ مواد ۽ آپٽيڪل حصن جي 3D مٿاڇري جي شڪل، مٿاڇري جي خرابي، قدم جي اوچائي ۽ فلم جي ٿلهي |
| ڊيٽا حاصل ڪرڻ جو طريقو | عمودي اسڪيننگ انٽرفيروميٽري (VSI) + مرحلو-شفٽنگ انٽرفيروميٽري (PSI) |
| ڪيليبريشن سسٽم | NIST ٽريڪ ايبل معيار + خودڪار ڪيليبريشن الگورتھم |
| عمودي ماپ جي حد | 500 مائڪرو ميٽر |
| ڏسڻ جو ميدان | 20× مقصد: 0.87 × 0.65 ملي ميٽر |
| ڪئميرا جي ڪارڪردگي | وڌ ۾ وڌ ريزوليوشن: 2048×2448؛ فريم ريٽ: 74 Fps؛ بِٽ ڊيپٿ: 12 بِٽ |
| اسڪيننگ جي رفتار | 100 μm/s (پريزيسن موڊ) |
| مقصدي لينس جا آپشن | ترتيب ڏيڻ وارا 20x / 50x وڌائڻ جا مقصد |
| انسٽاليشن ڊيزائن | بلٽ ان ايڪٽو وائبريشن آئسوليشن پليٽ فارم، افقي ۽ عمودي ماؤنٽنگ موجود آهي |
| مجموعي طول و عرض (L × W × H) | 120 × 80 × 65 سينٽي ميٽر |
| ڪل وزن | ≤58 ڪلوگرام |
3. صنعتي انٽيگريٽيڊ ڪابينا ڊيزائن، ليب ۽ پيداوار لائن سان مطابقت رکندڙ
لچڪدار تنصيب جي مطابقت سان وڏي پيماني تي پيداوار واري ورڪشاپس ۽ سائنسي تحقيقي ليبارٽريز ٻنهي لاءِ بهتر ڪيل.
بلٽ ان ايڪٽو وائبريشن آئسوليشن پليٽ فارم: فيڪٽري وائبريشن جي تحت مستحڪم ماپ، ڪنهن به اضافي وائبريشن آئسوليشن ٽيبل جي ضرورت ناهي.
ٻٽي چڙهڻ واري جوڙجڪ: افقي يا عمودي سيٽ اپ، خودڪار پيداوار لائينن ۽ ليبارٽري ورڪ اسٽيشنن سان آسان انضمام.
ڪمپيڪٽ آل-ان-ون باڊي: 120×80×65 سينٽي ميٽر جي ماپ سان ننڍو فوٽ پرنٽ، وزن ≤58 ڪلوگرام، سائيٽ تي سادي تعیناتي.
مڪمل سسٽم روشني جو ذريعو، انٽرفيروميٽر مين يونٽ ۽ ڪنٽرول ماڊل کي ضم ڪري ٿو. پيڪنگ کان پوءِ پلگ ۽ پلي ڪريو، ڪنهن به پيچيده آپٽيڪل رستي جي ترتيب جي ضرورت ناهي.
اعليٰ صحت واري پيداوار لاءِ وسيع ايپليڪيشن ڪوريج
سيمي ڪنڊڪٽر انڊسٽري: سلڪون ويفرز ۽ مائڪرو نانو چپس جي 3D ٽوپوگرافي ۽ قدم جي اوچائي جو معائنو.
پريسيشن آپٽڪس: آپٽيڪل لينس، مقصدن ۽ ڪوٽيڊ آپٽيڪل عنصرن لاءِ سختي ۽ فلم جي ٿولهه جي جاچ.
نئين فنڪشنل ڪوٽنگ: عڪاسي ڪندڙ ڪوٽنگن ۽ فنڪشنل پتلي فلمن جي مٿاڇري جي پروفائل ۽ ٿلهي جو تجزيو.
سائنسي ريسرچ ليبارٽريز: مائڪرو نانو اسٽرڪچر ڪيريٽرائيزيشن ۽ پريسيشن ڪمپونينٽ مورفولوجي ٽيسٽنگ.
آپٽيڪل آر اينڊ ڊي ۾ سالن جي پيشه ورانه تجربي سان، ويولينٿ او اي آزاد طور تي سفيد روشني انٽرفيروميٽر لاءِ سڀئي بنيادي آپٽيڪل رستا ۽ ماپ الگورتھم ترقي ڪري ٿو. روشني جي ذريعن، مقصدي لينس کان ڪيليبريشن سسٽم تائين مڪمل ٽيڪنيڪل ڪنٽرول. هر يونٽ پهچائڻ کان اڳ گھڻ-راؤنڊ درستگي ڪيليبريشن مان گذري ٿو. اسان مڪمل بعد ۾ سيلز ٽيڪنيڪل سپورٽ فراهم ڪندا آهيون ۽ گراهڪ ورڪ پيس سائيز ۽ خودڪار پيداوار لائن گهرجن جي بنياد تي خاص ماپنگ حل کي ترتيب ڏيون ٿا.
پوسٽ جو وقت: جولاءِ 15-2026